Silizium-Halbleitertechnologie

Name: Silizium-Halbleitertechnologie
Price: 39.99 EUR
Availability: InStock
Author: Hilleringmann, Ulrich
ISBN: 978-3-658-42377-3

Hilleringmann, Ulrich (27.10.2023)

Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH

39,99 €

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Produktnummer: 9783658423773

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Autor: Hilleringmann, Ulrich
ISBN: 978-3-658-42377-3
Veröffentlichung: 27.10.2023

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Produktinformationen "Silizium-Halbleitertechnologie"

Verlag: Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH

Autor: Hilleringmann, Ulrich

ISBN: 978-3-658-42377-3

Veröffentlichung: 27.10.2023

Größe: 168 x 240 (B/H)

Gewicht: 551

Sprache: deutsch

Auflage: 8. Aufl. 2023

Umfang: 309 Seiten

MwSt: 7 %

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

Biographie - Hilleringmann, Ulrich

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.